Method of manufacturing image sensor including nanostructure color filter

摘要

이미지 센서 제조방법은 광 감지셀을 포함하는 센서층과, 상기 광 감지셀로부터의 전기적 신호를 판독하기 위한 배선들이 형성된 신호 배선층을 포함하는 센서 기판을 준비하는 단계; 상기 센서 기판 상에, 고굴절률 물질로 이루어진 다수의 나노 구조물을 포함하는 나노 패턴층을 형성하는 단계;를 포함한다. 상기 제조 방법에 따라, 파장 선택성이 우수하고 고해상도에 적합한 박형의 이미지 센서가 제조된다.