| 发明名称 | 晶圆喷淋装置的支撑台 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种晶圆喷淋装置的支撑台，所述支撑台由多根支撑杆支撑，所述支撑杆固定安装于竖向气缸的活塞杆上端部，所述竖向气缸的缸体固定安装于气缸支撑台上；所述支撑台的外圈安装有一圈挡液环腔，支撑台中具有弧形导液腔，支撑台的上表面放置晶圆并设有漏液孔，所述弧形导液腔的外缘与所述挡液环腔连通，所述挡液环腔的底部连接有导出管。本发明用于晶圆喷淋时的支撑，采用气缸调节水平度，保证晶圆喷淋的均匀性，合理设置的挡液环腔及弧形导液腔，对喷淋废液的导流效果好。 | ||
| 申请公布号 | CN106340478A | 申请公布日期 | 2017.01.18 |
| 申请号 | CN201610881587.0 | 申请日期 | 2016.10.09 |
| 申请人 | 无锡宏纳科技有限公司 | 发明人 | 吕耀安 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人 | 孙力坚;聂启新 |
| 主权项 | 一种晶圆喷淋装置的支撑台，其特征在于：所述支撑台(1)由多根支撑杆(2)支撑，所述支撑杆(2)固定安装于竖向气缸(3)的活塞杆上端部，所述竖向气缸(3)的缸体固定安装于气缸支撑台(4)上；所述支撑台(1)的外圈安装有一圈挡液环腔(5)，支撑台(1)中具有弧形导液腔(6)，支撑台(1)的上表面放置晶圆(7)并设有漏液孔，所述弧形导液腔(6)的外缘与所述挡液环腔(5)连通，所述挡液环腔(5)的底部连接有导出管(8)。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼D区一楼 | ||