| 发明名称 | 晶圆夹持装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆夹持装置，晶圆夹持装置包括：第一夹持件，所述第一夹持件具有第一夹持端和第一活动端；第二夹持件，所述第二夹持件具有第二夹持端和第二活动端；驱动件，所述驱动件设置成同步驱动所述第一活动端和所述第二活动端相向或背向运动，其中，所述第一夹持端与所述第二夹持端相对设置以用于夹持晶圆。通过设置第一夹持件和第二夹持件，两个夹持端可以同步运动夹持住晶圆，从而可以避免晶圆与其他表面相接触，可以避免晶圆表面的磨损，可以提高晶圆的品质。 | ||
| 申请公布号 | CN106340486A | 申请公布日期 | 2017.01.18 |
| 申请号 | CN201610852803.9 | 申请日期 | 2016.09.26 |
| 申请人 | 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 | 发明人 | 王剑;许振杰;王同庆;李昆;路新春 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 黄德海 |
| 主权项 | 一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括：第一夹持件，所述第一夹持件具有第一夹持端和第一活动端；第二夹持件，所述第二夹持件具有第二夹持端和第二活动端；驱动件，所述驱动件设置成同步驱动所述第一活动端和所述第二活动端相向或背向运动，其中，所述第一夹持端与所述第二夹持端相对设置以用于夹持晶圆。 | ||
| 地址 | 300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼 | ||