| 摘要 |
비용 증가를 억제하면서 동시 측정수를 증가시키는 것이 가능한 전자부품 핸들링 장치를 제공한다. 프로브 카드(11)에 대하여 베어 다이(90)를 이동시키는 전자부품 핸들링 장치(20)는, 베어 다이(90)를 각각 홀드하는 동시에, 개구(427)가 각각 형성된 복수의 홀드영역(422)을 갖는 서멀 헤드(42)와, 홀드영역(422)에 대응하도록 서멀 헤드(42)에 유동가능하게 홀드되고, 개구(427)를 통하여 진퇴가능한 적어도 하나의 리프트 유닛(43)과, 서멀 헤드(42)를 이동시키는 이동장치(41)와, 하나의 리프트 유닛(43)을 지지가능한 고정 아암(50)을 구비하고 있다. |
