| 摘要 |
【課題】光導波路の割れに対する耐久性を高めた位置センサを提供する。【解決手段】格子状のコア２がシート状のアンダークラッド層１とオーバークラッド層３とで挟持されたシート状の光導波路Ｗと、上記格子状のコア２に対応するアンダークラッド層１の裏面部分に設けられた滑り性付与層Ｓと、この滑り性付与層Ｓを介して上記アンダークラッド層１の裏面に設けられた弾性層Ｒと、上記格子状のコア２に光を供給する発光素子４と、その供給された光を上記格子状のコア２を介して受光する受光素子５とを備えている。そして、上記滑り性付与層Ｓにより、上記弾性層Ｒに対する上記光導波路Ｗの動摩擦係数が１．０以下に設定されている。【選択図】図１ |
