レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

摘要

【課題】良好なクラック耐性を有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】酸の作用により開裂し得る保護基が導入されたノボラック樹脂、酸発生剤、防食剤及び溶剤を含有するレジスト組成物。樹脂（Ａ１）における酸の作用により開裂し得る保護基は、エトキシエチル基、プロピルオキシエチル基及びシクロヘキシルオキシエチル基からなる群より選択される基であることが好ましい。【選択図】なし