| 摘要 |
【課題】ウエーハをコインスタックキャリアからカセットに収容する所要時間を抑制することができる搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送装置１は、ウエーハと保護シートとを収容するコインスタックキャリア１０を載置するコインスタックキャリア載置部３０と、ウエーハを収容するカセット２０を載置するカセット載置部４０と、保護シートを収容する保護シート収容ケース５０と、コインスタックキャリア１０からウエーハ又は保護シートを保持して取り出し、ウエーハはカセット２０に挿入し、保護シートは保護シート収容ケース５０に搬送する搬送手段６０とを備える。搬送手段６０は、搬送対象物に噴出空気を噴出して負圧を発生させる吸着パッド８２と、搬送対象物の振動を検知する振動検知手段９０と、搬送対象物がウエーハか保護シートかを判別する制御手段１００とを備える。【選択図】図１ |
