接触表面が削減された微小機械構成部品及びその製作方法

摘要

【課題】材料のウェハを微小機械加工することによって形成される構成部品の摩擦を改善できる、新たなタイプの微小機械構成部品および新たなタイプの制作方法を提案する。【解決手段】本発明は、少なくとも１つの削減された接触表面を有する、シリコン系構成部品に関し、上記接触表面は、垂直な側壁の「Ｂｏｓｃｈ」エッチングによる、少なくとも１つの傾斜した側壁のエッチングステップによって形成され、特にシリコン系ウェハの微小機械加工によって形成された構成部品の摩擦を改善する。【選択図】図１１