| 摘要 |
【課題】 平均粒径が０.１〜１００μｍの範囲で且つ真球度が０.９５〜１.０、球状のシリコンオキシカーバイド微粒子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 オルガノトリアルコキシシランをｐＨ３〜６の酢酸水溶液中で加水分解した後に、引き続き該加水分解物をｐＨ７〜１２のアンモニア水などのアルカリ性水溶液を添加し、アルカリ性領域で縮合させることにより生成した球状のシリコンオキシカーバイド前駆体である融点や軟化点を持たない球状のポリシルセスキオキサン粒状物を、不活性雰囲気下で６００〜１４００℃の焼成温度で焼成することにより得られる球状のシリコンオキシカーバイド粉粒体及びその製造方法を提供する。【選択図】 図１ |
