Vorrichtung zur Fixierung eines Fügepartners mit einem Fixierelement und einem Ausgleichselement sowie Verfahren zur Herstellung dieser Vorrichtung

摘要

Die beschriebene Vorrichtung enthält einen Fügepartner (202) der in eine zumindest teilweise mit einem Fixierelement (204) gefüllte Ausnehmung (205) in einer Substratoberfläche (226) eines Substrates (201) mit einer Eintauchtiefe (220) hineinragt. Erfindungsgemäß ist ein Ausgleichselement (203) zwischen dem Fügepartner (202) und dem Fixierelement (204) angeordnet. Das Ausgleichselement (203) ist zumindest teilweise innerhalb der Eintauchtiefe (220) des Fügepartners (202) in das Fixierelement (204) angeordnet. Das Ausgleichselement (203) ist demnach in Kontakt zum Fügepartner (202) und zum Fixierelement (204). Eine Ausdehnungsänderung oder eine Bewegung des Fixierelementes (204), des Substrats (201) oder des Fügepartners (202) kann so durch eine Stauchung oder Dehnung des Ausgleichselementes (203) ausgeglichen werden. Eine Rissbildung lässt sich vermeiden bzw. deren Wirkung durch die Dichtfunktion minimieren. Mithilfe der Erfindung lassen sich eine optimierte Dichtung sowie ein gegen die Umgebung abgetrennter Raum beispielsweise für elektrische Bauteile wie Sensoren realisieren.