| 发明名称 |
基板表面をサブミクロン構造化する方法及びシステム |
| 摘要 |
本発明は、基板（３）の表面（６）をサブミクロン構造化する方法であって、前記表面（６）の上に大気圧でプラズマを生成する段階と、前記基板（３）に前記プラズマを介してサブミクロン径の少なくとも１本の毛細管（５）を使用して少なくとも１つのガス前駆体を注入する段階とを含む、基板（３）の表面（６）をサブミクロン構造化する方法に関する。前記方法は、３つの方向に移動可能なプレート（２）を含む３Ｄ印刷システムで行なわれてもよい。【選択図】図４ |
| 申请公布号 |
JP2017501558(A) |
申请公布日期 |
2017.01.12 |
| 申请号 |
JP20160516845 |
申请日期 |
2014.09.23 |
| 申请人 |
サントレ ナティオナル ド ラ ルシェルシェ シアンティフィク |
发明人 |
ベルモンテ，ティエリー;アマラル，チアゴ シルバ;グリス，トーマス;ノエル，セドリック;カルドソ，ロドリゴ ペリト |
| 分类号 |
H01L21/3065;B81C1/00;C23C16/04;C23C16/50;H01L21/31;H05H1/26 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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