| 摘要 |
このレーザビーム制御装置は、ガイドレーザ装置と、ガイドレーザ装置から出力されたガイドレーザビームの光路に配置されたガイドレーザビーム波面調節器と、レーザシステムから出力されたレーザビーム及びガイドレーザビーム波面調節器から出力されたガイドレーザビームの進行方向を互いに実質的に一致させるように構成されたビーム結合器と、ビーム結合器から出力されたレーザビーム及びガイドレーザビームの両方の光路に配置された両ビーム波面調節器と、両ビーム波面調節器から出力されたレーザビーム及びガイドレーザビームの両方の光路に配置されたビームモニタと、レーザビーム及びガイドレーザビームの両方についてのビームモニタによる検出結果に基づいてガイドレーザビーム波面調節器及び両ビーム波面調節器を制御するように構成されたコントローラと、を備えてもよい。 |
