一种基板冷却搬运机器人

摘要

本实用新型提供了一种基板冷却搬运机器人，包括主体支撑部，在所述主体支撑部下端连接工字形支架，所述工字形支架包括两根横支架和一根垂直于所述横支架的竖支架；所述主体支撑部连接所述竖支架的中点并向下延伸，并在其下端表面上设置温度传感器；所述工字形支架的四个端部下方设置伸缩缸，所述伸缩缸下方设置吸盘，所述工字形支架的四个端部内侧设置能够向下喷射冷却流体的喷嘴；所述温度传感器、所述喷嘴的开关和所述伸缩缸分别连接控制器。本实用新型的机械手在搬运玻璃基板之前以及搬运过程中持续释放冷却流体对玻璃基板进行冷却，防止基板发生形变进而成为残次品，在搬运之前与基板接触少，减少因为机械手的接触产生形变的可能。

主权项

一种基板冷却搬运机器人，其特征在于，包括主体支撑部（1），在所述主体支撑部（1）下端连接工字形支架（2），所述工字形支架（2）包括两根横支架（21）和一根垂直于所述横支架（21）的竖支架（22）；所述主体支撑部（1）连接所述竖支架（22）的中点并向下延伸，并在其下端表面上设置温度传感器（3）；所述工字形支架（2）的四个端部下方设置伸缩缸（4），所述伸缩缸（4）下方设置吸盘（5），所述工字形支架（2）的四个端部内侧设置能够向下喷射冷却流体的喷嘴（6）；所述温度传感器（3）、所述喷嘴（6）的开关和所述伸缩缸（4）分别连接控制器。