一种柔性太赫兹超材料吸波器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种柔性太赫兹超材料吸波器及其制作方法；所述吸波器由上至下依次包括一层图形化的金属薄膜、一层柔性介质薄膜和一层连续的金属薄膜；所述吸波器的制作方法为：在柔性介质薄膜的一个表面沉积一层连续的金属薄膜；将图形化的遮掩薄膜覆盖在柔性介质薄膜的另一个表面上，然后在表面沉积另一层金属薄膜，再将遮掩薄膜与柔性介质薄膜分开，在柔性介质薄膜的另一个表面上得到具有与遮掩薄膜互补图案的图形化的金属薄膜。本发明的柔性太赫兹超材料吸波器具有柔性、可伸缩的特点，能够通过施加外力发生弯曲，由此改变其吸收系数，因此可以很方便地调节其太赫兹响应性能，并且本发明的制作方法简单，且所制成的遮掩薄膜可多次重复利用。

主权项

一种柔性太赫兹超材料吸波器，其特征在于：所述吸波器由上至下依次包括一层图形化的金属薄膜、一层柔性介质薄膜和一层连续的金属薄膜；所述图形化的金属薄膜的金属图形呈现为太赫兹响应图形。