发明名称 清洁装置
摘要 本发明公开了一种用于清洁炉管的清洁装置,其包含本体、抽气装置与至少一个滚轮。本体具有通道。抽气装置设置于本体的一端,并连接所述通道。滚轮由石英材质、碳化硅材质或其组合构成,并设置于本体相对抽气装置的一端上。因此,清洁装置可以直接对炉管进行近距离的清洁,借以大幅延长炉管的使用寿命与减少更换炉管内部石英的开销。
申请公布号 CN106319478A 申请公布日期 2017.01.11
申请号 CN201510473870.5 申请日期 2015.08.05
申请人 华亚科技股份有限公司 发明人 徐三权;邵明轩;林彦璋
分类号 C23C16/44(2006.01)I 主分类号 C23C16/44(2006.01)I
代理机构 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 代理人 王正茂;丛芳
主权项 一种清洁装置,其特征在于,所述清洁装置包含:本体,其具有通道;抽气装置,其设置于所述本体的一端,并连接所述通道;以及至少一个滚轮,由石英材质、碳化硅材质或其组合构成,该滚轮设置于所述本体相对所述抽气装置的一端上。
地址 中国台湾桃园市龟山区华亚科技园区复兴三路667号