发明名称 | 清洁装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于清洁炉管的清洁装置,其包含本体、抽气装置与至少一个滚轮。本体具有通道。抽气装置设置于本体的一端,并连接所述通道。滚轮由石英材质、碳化硅材质或其组合构成,并设置于本体相对抽气装置的一端上。因此,清洁装置可以直接对炉管进行近距离的清洁,借以大幅延长炉管的使用寿命与减少更换炉管内部石英的开销。 | ||
申请公布号 | CN106319478A | 申请公布日期 | 2017.01.11 |
申请号 | CN201510473870.5 | 申请日期 | 2015.08.05 |
申请人 | 华亚科技股份有限公司 | 发明人 | 徐三权;邵明轩;林彦璋 |
分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人 | 王正茂;丛芳 |
主权项 | 一种清洁装置,其特征在于,所述清洁装置包含:本体,其具有通道;抽气装置,其设置于所述本体的一端,并连接所述通道;以及至少一个滚轮,由石英材质、碳化硅材质或其组合构成,该滚轮设置于所述本体相对所述抽气装置的一端上。 | ||
地址 | 中国台湾桃园市龟山区华亚科技园区复兴三路667号 |