校正装置及晶圆传送装置

摘要

本实用新型公开了一种校正装置及晶圆传送装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，所述校正装置包括：一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。本实用新型通过提供一校正装置，为所述晶圆传送装置中所述机械手臂的调整提供一参照物，能够直观、更准确的调整所述机械手臂使所述晶圆传送位置的中心度更加准确，提高工作效率；并且不需要通过在所述晶圆上喷涂化学品试验来反复调整机械手臂，节约成本。

主权项

一种校正装置，用于校正一晶圆传送装置的机械手臂，所述晶圆传送装置用于传送一晶圆，所述晶圆传送装置中具有一转轴，所述转轴支撑一用于吸附所述晶圆的真空吸盘，其特征在于，所述校正装置包括：一用于发出一激光的激光头，所述激光头位于所述转轴的中心轴上；一校正晶圆；一用于检测所述激光的光度计，所述光度计的接收面的中心点与所述校正晶圆的圆心相重合。