| 发明名称 | 传感器元件 | ||
| 摘要 | 一种传感器元件，具备：支承用基板；与支承用基板连接的固定部；和与固定部连接的振动部。振动部通过驱动电压的施加而进行驱动振动，输出与振动状态相应的检测信号。支承用基板和固定部的至少一方具有设置在支承用基板与固定部连接的部分的绝缘膜。 | ||
| 申请公布号 | CN205879192U | 申请公布日期 | 2017.01.11 |
| 申请号 | CN201490001110.3 | 申请日期 | 2014.10.20 |
| 申请人 | 松下知识产权经营株式会社 | 发明人 | 西胁英谦 |
| 分类号 | G01C19/5769(2006.01)I;G01C19/574(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;H01L41/113(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/5769(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 柯瑞京 |
| 主权项 | 一种传感器元件，具备：支承用基板；固定部，其与所述支承用基板连接；和振动部，其与所述固定部连接，通过驱动电压的施加而进行驱动振动，输出与振动状态相应的检测信号，所述支承用基板和所述固定部的至少一方具有设置在所述支承用基板和所述固定部连接的部分的绝缘膜。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||