| 摘要 |
(과제) 브레이크 처리에 의한 기판의 분단의 성부(成否)를 신속하고 또한 확실하게 검출 가능한 브레이크 장치를 제공한다. (해결 수단) 기판을 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 장치가, 기판을 스크라이브 라인의 연재 방향과 브레이크 날의 날끝의 연재 방향이 일치하도록 테이블에 올려놓은 상태로 브레이크 날을 소정의 하강 정지 위치까지 하강시킴으로써, 기판을 분단하도록 구성되어 이루어짐과 함께, 촬상 수단은, 브레이크 날의 하강의 개시와 함께 반복하여 기판을 촬상할 수 있도록 되어 있고, 분단 검출 수단은, 촬상 화상이 취득될 때마다, 당해 취득 화상에 기초하여 생성되는 판정 지표값이 소정의 문턱값을 초과하고 있는지 아닌지에 기초하여, 분단의 성부를 판정한다. |
