| 发明名称 |
Film for preventing humidity from percolation and Method for manufacturing the same |
| 摘要 |
본 발명은 Si계 무기 절연층; Si계 유기 절연층; 및 상기 Si계 무기 절연층과 상기 Si계 유기 절연층 사이에 구비된 Si계 중간층을 포함하여 이루어지고, 상기 Si계 중간층은 상기 Si계 유기 절연층보다 탄소(C)의 함량이 적은 투습 방지막과 그 제조방법을 제공한다. |
| 申请公布号 |
KR20170002052(A) |
申请公布日期 |
2017.01.06 |
| 申请号 |
KR20150091942 |
申请日期 |
2015.06.29 |
| 申请人 |
주성엔지니어링(주) |
发明人 |
조원태;이용현;박일흥 |
| 分类号 |
H01L21/314;H01L21/312;H01L21/316;H01L51/00 |
主分类号 |
H01L21/314 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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