| 摘要 |
【課題】鋭突な刃先のブレイクバーを用いることなく、樹脂または金属の表面層を備えた脆性材料基板を効率的に分断することができる基板分断方法並びに分断装置を提供する。【解決手段】基板本体１の上面に表面層２が積層され、基板本体１の下面に複数条のスクライブラインＳが形成されている基板Ｗを分断する分断方法であって、表面層２の上面からスクライブラインＳに向かってブレイクバー７を押圧することにより、基板Ｗを下方に撓ませてスクライブラインＳに沿って基板本体１のみを分断する基板本体ブレイク工程と、基板本体１側から押圧部材８をスクライブラインＳに向かって押圧することにより表面層２を破断する表面層破断工程とからなる構成とする。【選択図】図５ |
