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经营范围
发明名称
静電チャック
摘要
本発明の静電チャックは、上面が被吸着物の吸着面となるセラミック基体と、吸着用電極と、前記セラミック基体の内部に設けられた流路とを含み、流路の内面にセリウム化合物が存在している。
申请公布号
JPWO2014084334(A1)
申请公布日期
2017.01.05
申请号
JP20140549907
申请日期
2013.11.29
申请人
京セラ株式会社
发明人
坂上 勝伺
分类号
H01L21/683;H02N13/00
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
主权项
地址
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