超音波振動子および超音波診断装置

摘要

【課題】作製コストを嵩ませることなく、高感度の振動素子を有する超音波振動子および超音波診断装置を提供する。【解決手段】超音波振動子は、振動板、下部電極、圧電体膜および上部電極がこの順で積層された複数の積層体を有し、複数の積層体は所定数毎に分けられて複数の振動素子を構成し、複数の振動素子のうち少なくとも一つの振動素子それぞれにおいて、いずれかの積層体は、他のいずれかの積層体の下部電極とは異なる材料もしくは材料組成比の下部電極を有する。【選択図】図４