Ionenmikroskopievorrichtung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Ionenmikroskopievorrichtung mit einer Ionenquelle zum Erzeugen eines Ionenstrahls, einem Detektor, einer Spannungsquelle und einem Photonenpuls-Generator, wobei die Ionenmikroskopievorrichtung zum Bestrahlen eines Objekts mit dem Ionenstrahl unter Erzeugung von Wechselwirkungsteilchen ausgebildet ist, wobei die Ionenquelle eine Gasionisationskammer, eine in derselben angeordnete spitzenförmige Elektrode und eine Gegenelektrode aufweist, der Detektor zum Erfassen der Wechselwirkungsteilchen dient, die Spannungsquelle zum Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen die Elektrode und die Gegenelektrode dient, und der Photonenpuls-Generator zum Erzeugen von in die Ionisationskammer gerichteten Photonenpulsen dient.