分光分析測定のための誘電体バリア放電イオン化源

摘要

イオン化装置は、誘電体層で被覆した導電部材を有する第１電極を備える。イオン化装置は、さらに、第１電極に隣接しかつ少なくとも部分的に第１電極に沿って延在するスパイン（背骨状体）を備える。イオン化装置は、さらに、第１電極に隣接配置した導電性セグメントを有する第２電極を備える。導電性セグメントは各個に、それぞれに対応する接触場所でスパインに接触する。第１電極の誘電体層は、第１電極の導電部材をスパイン及び第２電極から分離する。イオン化装置は、第１電極及び第２電極の各交差部に対応してプラズマ発生場所を生ずる構成とする。【選択図】図１