| 摘要 |
簡易な構成で、他方部分が基板に近づいた方向に揺動した揺動梁を、一方部分が基板に近づく方向に確実に揺動させることができる静電アクチュエーター等を提供する。シリコン基板２上の支持部２１によりシーソー状に揺動可能に支持され、静電気力により揺動する揺動梁部２２と、支持部２１に対する揺動梁部２２の外側部分２２ａにシリコン基板２側で対向して外側部分２２ａとの間に静電気力を生じさせると共に、支持部２１側とは反対側の端部が、外側部分２２ａの端部と接続され、支持部２１側の端部が、シリコン基板２に対して固定された可動梁２５とを備えた。 |
