夹持式硅片涂布旋转机

摘要

一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴、转盘、夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。本发明保证了硅片与转轴同心，不会发生偏心现象；推板通过拉绳控制，踏板放在地面用脚踩踏，操作方便；夹板上设置有阶梯状凸台，可以加持不同直径的硅片，实用性强。

主权项

一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴和转盘，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，其特征在于，它还包括夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。