一种反射式离轴数字全息显微测量装置

摘要

本发明公开了一种反射式离轴数字全息显微测量装置，包括：光源单元，物光调节单元，参考光调节单元以及图像处理单元，参考光调节单元包括光程调节反射镜组和光路引导反射镜组，光程调节反射镜组包括位置相对固定的第一反射镜和第二反射镜，第一反射镜用于将参考光R反射至第二反射镜，第二反射镜用于将入射的参考光R反射至光路引导反射镜组，通过整体移动光程调节反射镜组能调整参考光R的光程，光路引导反射镜组能引导调整光程后的参考光R入射至图像处理单元以与反射光O‵发生干涉；图像处理单元用于处理干涉条纹以获得样品三维图像。本发明装置能提高全息图像的质量。

主权项

一种反射式离轴数字全息显微测量装置，其特征在于，包括：光源单元，用于提供物光O和参考光R；物光调节单元，用于将物光O引导入射至样品，并将自样品出射的反射物光O‵引导入射至图像处理单元；参考光调节单元，包括光程调节反射镜组(8，9)和光路引导反射镜组，所述光程调节反射镜组包括第一反射镜(8)和第二反射镜(9)，所述第一反射镜(8)用于将参考光R反射至第二反射镜(9)，所述第二反射镜(9)用于将入射的参考光R反射至光路引导反射镜组，通过整体移动光程调节反射镜组能调整参考光R的光程，所述光路引导反射镜组能引导调整光程后的参考光R入射至图像处理单元以与反射光O‵发生干涉；图像处理单元，用于接受参考光R与反射物光O‵发生干涉而获得的干涉条纹，并用于对该干涉条纹进行处理从而获得样品三维图像。