掩膜板和蒸镀装置

摘要

一种掩膜板和蒸镀装置，该掩膜板包括框架和设置在所述框架内侧的第一掩膜条，其中，所述框架包括外框和内框，所述外框位于外侧且具有第一平面，所述内框位于内侧且具有第二平面，所述第一平面高于所述第二平面由此形成台阶；所述第一掩膜条通过两端固定在所述外框上且在所述外框内沿所述框架的一侧边延伸，所述第一掩膜条在所述第二平面上的正投影与所述内框在所述侧边至少部分交叠。该掩膜板通过改变框架和固定在其上的掩膜条的设计，有效解决了玻璃基板被刮伤的问题，有效提升了后续产品的良率和寿命。

主权项

一种掩膜板，其特征在于，包括框架和设置在所述框架内侧的第一掩膜条，其中，所述框架包括外框和内框，所述外框位于外侧且具有第一平面，所述内框位于内侧且具有第二平面，所述第一平面高于所述第二平面由此形成台阶；所述第一掩膜条通过两端固定在所述外框上且在所述外框内沿所述框架的一侧边延伸，所述第一掩膜条在所述第二平面上的正投影与所述内框在所述侧边至少部分交叠。