发明名称 抛光头以及具有其的抛光机
摘要 本发明公开了一种抛光头以及具有其的抛光机,抛光头包括:连接件;安装板,所述安装板设置在所述连接件的下侧;调心轴承,所述调心轴承具有内圈和外圈,所述内圈和所述外圈中的一个与所述连接件相连且另一个与所述安装板相连;周向同步件,所述周向同步件设置成用于在周向方向上同步所述安装板和所述连接件。该抛光头的安装板相对连接件角度可调,从而安装板可以补偿其工件安装面和工件表面之间的角度误差,以及可以补偿工件安装面和抛光盘之间的角度误差,进而可以提高抛光机的抛光效果。
申请公布号 CN106272123A 申请公布日期 2017.01.04
申请号 CN201610912534.0 申请日期 2016.10.20
申请人 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 发明人 郑家旺;沈攀;许振杰;王同庆;李昆;路新春
分类号 B24D13/00(2006.01)I;B24B29/00(2006.01)I 主分类号 B24D13/00(2006.01)I
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人 黄德海
主权项 一种抛光头,其特征在于,包括:连接件;安装板,所述安装板设置在所述连接件的下侧;调心轴承,所述调心轴承具有内圈和外圈,所述内圈和所述外圈中的一个与所述连接件相连且另一个与所述安装板相连;周向同步件,所述周向同步件设置成用于在周向方向上同步所述安装板和所述连接件。
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