一种光波导制造方法及光波导

摘要

本发明提供了一种光波导的制造方法以及光波导，该方法包括以下步骤：提供一玻璃基片；在所述玻璃基片上，波导芯部两侧的区域形成含一种阳离子的熔盐扩散区；在形成含一种阳离子的熔盐扩散区的所述玻璃基片上，波导芯部的区域形成离子掺杂区；在形成离子掺杂区的所述玻璃基片上，所述离子掺杂区的表面形成去掺杂区。本发明提供的光波导的制造方法，使光波导模场分布的对称性得到改善，降低了耦合损耗与传输损耗；通过离子反交换技术形成去掺杂区，保证所形成的光波导为掩埋式光波导，降低了光波导的耦合损耗以及由于玻璃基片表面缺陷处的散射引入的传输损耗。

主权项

一种光波导的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一玻璃基片；在所述玻璃基片上，波导芯部两侧的区域形成含一种阳离子的熔盐扩散区；在形成含一种阳离子的熔盐扩散区的所述玻璃基片上，波导芯部的区域形成离子掺杂区；在形成离子掺杂区的所述玻璃基片上，所述离子掺杂区的表面形成去掺杂区。