发明名称 | 背照式影像感测器及其制作方法 | ||
摘要 | 本发明公开一种背照式影像感测器及其制作方法,该背照式影像感测器包含有一基底、多个设置于该基底内的感光元件、多个用以隔离该多个感光元件的隔离结构、以及多个凸拱表面。该基底包含有一正面与一相对的背面,而该多个凸拱表面即形成于该基底的该背面,且该多个凸拱表面分别对应于一该感光元件。 | ||
申请公布号 | CN106298819A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
申请号 | CN201510304134.7 | 申请日期 | 2015.06.04 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 谢丞聿 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
主权项 | 一种背照式(back side illumination,BSI)影像感测器的制作方法,包含有:提供一基底,该基底包含有一正面与一相对的背面,且该基底内形成有多个隔离结构与多个感光元件(sensing element);在该基底背面暴露出该多个隔离结构;以及对该基底背面进行一热处理,以于该基底的背面形成多个凸拱(cambered)表面,且该多个凸拱表面分别对应于该多个感光元件。 | ||
地址 | 中国台湾新竹市新竹科学工业园区 |