发明名称 背照式影像感测器及其制作方法
摘要 本发明公开一种背照式影像感测器及其制作方法,该背照式影像感测器包含有一基底、多个设置于该基底内的感光元件、多个用以隔离该多个感光元件的隔离结构、以及多个凸拱表面。该基底包含有一正面与一相对的背面,而该多个凸拱表面即形成于该基底的该背面,且该多个凸拱表面分别对应于一该感光元件。
申请公布号 CN106298819A 申请公布日期 2017.01.04
申请号 CN201510304134.7 申请日期 2015.06.04
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 谢丞聿
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 陈小雯
主权项 一种背照式(back side illumination,BSI)影像感测器的制作方法,包含有:提供一基底,该基底包含有一正面与一相对的背面,且该基底内形成有多个隔离结构与多个感光元件(sensing element);在该基底背面暴露出该多个隔离结构;以及对该基底背面进行一热处理,以于该基底的背面形成多个凸拱(cambered)表面,且该多个凸拱表面分别对应于该多个感光元件。
地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
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