| 摘要 |
글래스 기판을 지지하기 위한 서스셉터용 지지장치가 개시된다. 본 발명의 글래스 기판을 지지하기 위한 서스셉터용 지지장치는, 글래스 기판에 박막을 형성하는 CVD 공정을 위해 서스셉터 위에 글래스 기판을 올려놓고 리프팅시 상기 서스셉터에 승강 가능하게 다수 설치되어 상기 글래스 기판의 저면을 지지하는 지지장치로서, 상기 지지장치는, 상기 서스셉터에 승강 가능하게 결합되도록 마련되는 몸체; 및 상기 몸체의 상부에 형성되고 상기 글래스 기판의 저면을 지지하기 위한 지지부가 마련되는 헤드를 포함하며, 상기 지지부는, 상기 글래스 기판의 저면을 지지시 접촉 면적을 늘림으로써 글래스 기판의 하중에 의한 접촉 강도를 분산시킬 수 있도록 평면 구조로 형성되는 것을 특징으로 한다. |
