| 发明名称 | 废过硫酸溶液的回收处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明是关于一种废过硫酸溶液回收处理方法，其用于半导体晶圆洗净的废过硫酸溶液(硫酸及过氧化氢混合溶液)进行回收和再生成硫酸及过氧化氢溶液的方法。更特别地，是关于一种将废液残留的废光阻或金属离子如铝离子去除，而使废液再生成符合工业级的硫酸和过氧化氢溶液的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106276814A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201510236960.2 | 申请日期 | 2015.05.11 |
| 申请人 | 台湾肥料股份有限公司;金安能资科技股份有限公司 | 发明人 | 陈仁显;宋育溏;胡庆楼;李汉中 |
| 分类号 | C01B17/90(2006.01)I;C01B15/013(2006.01)I | 主分类号 | C01B17/90(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人 | 吴怀权 |
| 主权项 | 一种废过硫酸溶液回收处理方法，其特征在于，该方法是将含有硫酸及过氧化氢的废过硫酸溶液进行回收和再生成硫酸及过氧化氢溶液的方法，包含：一红外线加热提浓方法，将废过硫酸注入设有红外线灯管加热器的反应器中，不须加入任何溶剂，在温度范围为‑50℃至330℃及压力范围0.1至20大气压的条件下，回收及再生得到高浓度硫酸溶液；将经加热产生的过氧化氢蒸气及水蒸气经过一冷凝器，冷却凝成过氧化氢水溶液；及收集所产生的过氧化氢水溶液与及再生硫酸溶液。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市 | ||