APPARATUS AND PROCESS FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE

摘要

본 발명은 테트라클로로실란으로부터 트리클로로실란을 효율적으로 제조하는 장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 장치는 금속 실리콘 입자가 충전되어 있는 관형 반응기를 포함하며, 상기 관형 반응기는 카트리지 형태로서, 반응 중 또는 반응완료 후에 교체 가능하도록 장착된 것을 특징으로 함으로써, 금속 실리콘의 충전 및 제거 공정을 보다 용이하게 할 수 있다.