自动监控膜厚均匀性的方法

摘要

本发明公开一种自动监控膜厚均匀性的方法。取得多个晶片的薄膜的膜厚数据，其中各晶片的膜厚数据包括在多个量测区域上的多个厚度值，并且同一个晶片的厚度值设定为一膜厚向量。基于各量测区域所获得的上述厚度值获得群均值矩阵。依据群均值矩阵与上述膜厚向量，获得群共变异矩阵。基于量测区域之间的偏离关系，获得变换矩阵。利用变换矩阵、群均值矩阵以及群共变异矩阵，获得偏差范围。基于偏差范围来监控各晶片的薄膜的膜厚均匀性。

主权项

一种自动监控膜厚均匀性的方法，包括：取得多个晶片的薄膜的膜厚数据，其中该膜厚数据包括每一上述晶片在多个量测区域上的多个厚度值，其中将属于同一上述晶片的上述厚度值设定为一膜厚向量；分别取出属于相同的上述量测区域中的上述厚度值进行平均计算，而获得一群均值矩阵；依据该群均值矩阵与上述膜厚向量，获得一群共变异矩阵；基于两两相近的上述量测区域之间的偏离关系，获得一变换矩阵；利用该变换矩阵、该群均值矩阵以及该群共变异矩阵，获得一偏差范围；基于该偏差范围来监控每一上述晶片的薄膜的膜厚均匀性。