发明名称 Assembly for measuring droplet discharge volume and Apparatus having the same
摘要 약액 토출 장치는 인쇄 공정의 수행시 기판으로 약액을 토출하는 잉크젯 헤드; 및 약액 토출량 측정 어셈블리를 포함한다. 상기 약액 토출량 측정 어셈블리는 상기 잉크젯 헤드로부터 토출되는 약액을 수용하는 공간, 및 상기 잉크젯 헤드와 마주하는 부분만 개방되는 구조의 입구로 이루어지는 약액 수용부와, 상기 약액 수용부에 수용되는 상기 약액의 토출량을 측정하도록 상기 약액이 수용되는 상기 약액 수용부의 무게를 측정하는 무게 측정부와, 상기 약액 수용부의 입구로부터 상기 약액 수용부의 내부로 향하되, 상기 약액 수용부의 저면과는 일정 간격으로 이격되게 구비되는 격벽을 포함하고, 상기 격벽에는 상기 약액이 통과할 수 있는 홀들이 형성될 수 있다.
申请公布号 KR20170001010(A) 申请公布日期 2017.01.04
申请号 KR20150090317 申请日期 2015.06.25
申请人 세메스 주식회사 发明人 신봉규;정진아;장윤옥;권강
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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