| 摘要 |
본 발명은 정렬 키 구조의 원격 플라즈마 소스 블록에 관한 것이고, 구체적으로 서로 결합되는 서브 블록에 정렬 키가 형성되어 원격 플라즈마 소스 블록의 결합 특성이 향상되도록 하는 정렬 키 구조의 원격 플라즈마 소스 블록에 관한 것이다. 정렬 키 구조의 원격 플라즈마 소스 블록은 제1 서브 블록(10) 및 제2 서브 블록(20)이 서로 결합되어 형성되고, 제1 서브 블록(10) 또는 제2 서브 블록(20)의 결합 부분에 정렬 키가 형성된다. |
