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发明名称
Head assembly and Apparatus for treating substrate with the assembly
摘要
본 발명의 실시예는 기판 상에 액을 공급하는 장치를 제공한다. 헤드 어셈블리는 장착홈이 형성되는 바디 및 처리액을 공급하는 액 공급 부재를 포함하되, 상기 액 공급 부재는 토출 헤드 및 상기 토출 헤드를 지지하며, 상기 장착홈에 삽입 가능한 홀더를 포함한다. 이로 인해 액 공급 부재를 신속하게 교체할 수 있다.
申请公布号
KR101688958(B1)
申请公布日期
2017.01.03
申请号
KR20140081152
申请日期
2014.06.30
申请人
세메스 주식회사
发明人
박태현;김정선
分类号
H01L21/67;G03F7/16
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
主权项
地址
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