| 摘要 |
본 발명의 실시예에 따른 기판 증착 챔버는, 기판에 유기 전계 발광 소자(OLED, Organic Luminescence Emitting Device)를 형성하기 위한 기판 증착 시스템의 기판 증착 챔버로서, 기판에 대한 증착 공정이 실행되는 증착 공간을 제공하며, 상기 증착 공간 중 상부 공간에는 상기 기판을 파지한 상태로 승강 가능한 척킹부가 구비되고 상기 증착 공간 중 하부 공간에는 상기 기판으로 증착 물질을 분사하여 상기 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 증착 모듈이 이동 가능하게 구비되는 챔버 하우징; 및 상기 챔버 하우징을 이루는 측벽들의 내면들 중 적어도 일면에 부착되어, 상기 증착 모듈로부터 분사되었으나 상기 기판에 미증착된 상기 증착 물질을 포획하는 메인 포획부;를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 기판에 대한 증착 공정 후에 챔버 하우징 내에서 잔존 가능한 미증착된 증착 물질, 예를 들면 모노머를 챔버 하우징의 양측벽의 내면 중 적어도 일면에 부착되는 증착 공간을 아우르는 메인 포획부를 통해 포획할 수 있어 증착 공간을 청정하게 유지시킬 수 있으며, 이에 따라 기판에 대한 증착 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. |
