发明名称 一种单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法
摘要 本发明提供一种单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法,所述自动点胶固化装置包括单晶硅自动粘接机以及控制系统,所述单晶硅自动粘接机包括出料端,所述自动点胶固化装置还包括用以固化所述硅片的固化装置,所述固化装置包括与所述出料端相连接的初步固化装置、对经初步固化装置初步固化后的硅片进行二次固化的固化室以及将硅片自初步固化装置移动至固化室内的机械手系统;所述初步固化装置包括支架、安装在所述支架上的传送部以及驱动所述传送部的驱动装置,所述硅片自所述传送部靠近所述出料端的一端运行至所述传送部远离所述出料端的一端后初步固化完成;以实现硅片的全自动化生产,节约人力成本且避免硅片的损坏,造成损失。
申请公布号 CN106206379A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201610600935.2 申请日期 2016.07.28
申请人 苏州高登威科技股份有限公司 发明人 沈皓然
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;B05C5/02(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I;B05D3/06(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人 杨林洁
主权项 一种单晶硅的自动点胶固化装置,包括用于将晶硅夹具、树脂及单晶硅粘接在一起形成硅片的单晶硅自动粘接机以及控制系统,所述单晶硅自动粘接机包括出料端,其特征在于:所述自动点胶固化装置还包括用以固化所述硅片的固化装置,所述固化装置包括与所述出料端相连接的初步固化装置、对经初步固化装置初步固化后的硅片进行二次固化的固化室以及将硅片自初步固化装置移动至固化室内的机械手系统;所述初步固化装置包括支架、安装在所述支架上的传送部以及驱动所述传送部的驱动装置,所述硅片自所述传送部靠近所述出料端的一端运行至所述传送部远离所述出料端的一端后初步固化完成。
地址 215000 江苏省苏州市工业园区夏庄路88号