基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器，用于产生基于直线运动和弧状运动的复合致动方式。所述装置由V型电热微致动器、U型冷热臂电热微致动器、V型电热微致动器电极、U型冷热臂电热微致动器电极组成，整个装置为多晶硅材料，用MEMS工艺制作。该装置将V型微致动器的直线运动和U型冷热臂微致动器的弧状运动结合起来，产生了基于直线运动和弧状运动的复合致动方式，结构简单，效率高，可用于驱动微夹钳、微齿轮等MEMS器件。

主权项

一种基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器，包括：一个V型微致动器（1）和一个U型冷热臂微致动器（2）、一个V型微致动器的电极甲（3）、一个U型冷热臂微致动器的电极乙（4）和一个公共电极（5），其特征在于：所述U型冷热臂微致动器（2）的一个热臂（6）与V型微致动器（1）的输出端相连，而其一个柔性臂（7）通过一个斜梁与电极乙（4）相连，V型微致动器（1）的左端梁与电极甲（3）相连，而其右端梁与公共电极（5）相连；所述U型冷热臂微致动器（2）采用双热臂U型微致动器。