脉冲序列退火方法和设备

摘要

本发明通常描述用来在衬底的期望区域上执行退火工艺的设备和方法。在一个实施例中，利用闪光灯或激光设备，将脉冲电磁能量供给到衬底上。该脉冲可以是从约1纳秒到约10毫秒长，并且每个脉冲具有比熔化衬底材料需要的能量小的能量。脉冲之间的能量间隔通常足够长，以允许由每个脉冲给予的能量完全消散。由此，每个脉冲实现一个微退火循环。脉冲可以被一次性供给到整个衬底上，或者一次性供给到衬底的一部分上。此外实施例提供了一种用来供电辐射组件的设备，和用来检测衬底上的脉冲的效果的设备。

主权项

一种用于处理衬底的设备，包括：多个激光器；光学地连接到用于产生激光辐射脉冲的所述多个激光器中的第一激光器的第一开关；光学地连接到用于产生激光辐射脉冲的所述多个激光器中的第二激光器的第二开关，其中所述第一开关和第二开关产生脉冲，脉冲之间具有间隔时间以使一个脉冲的能量在下一个脉冲撞击衬底之前在衬底内消散；和可操作为将设置在其上的衬底移动到与所述多个激光器相关的选择位置的衬底支架。