发明名称 METHOD FOR PRODUCING AN INFRARED FILTER ASSOCIATED WITH AN IMAGE SENSOR
摘要 L'invention concerne un capteur d'image ayant une partie comprenant des niveaux d'interconnexion formés sur un substrat semiconducteur (1) recouvert d'une première couche d'un matériau diélectrique, comprenant des pistes conductrices (15-1, 15-2, 15-3) séparées les unes des autres par des couches isolantes (6-1, 6-2, 6-3, 6-4), reliées entre elles par des vias (16-1, 16-2, 16-3) traversant les couches isolantes, et un filtre passe-bande dans l'infrarouge comprenant des niveaux de filtre adjacents aux niveaux d'interconnexion formés par une alternance de deuxièmes couches (6-1, 6-2, 6-3) du matériau diélectrique, et de couches de silicium (5-1, 5-2, 5-3), l'indice de réfraction du matériau diélectrique étant inférieur à 2,5 à la longueur d'onde de transmission maximale du filtre, l'une des deuxièmes couches diélectriques de chaque niveau de filtre étant identique à la couche isolante du niveau d'interconnexion adjacent.
申请公布号 EP3098851(A2) 申请公布日期 2016.11.30
申请号 EP20160170357 申请日期 2016.05.19
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 FREY, LAURENT;MARTY, MICHEL;MASAROTTO, LILIAN
分类号 H01L27/146 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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