| 发明名称 | 处理发生于制程设备的废气的等离子体反应器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种等离子体反应器，其设置于制程腔室与真空泵之间分解从制程腔室排出的废气，包括：导管，其供所述废气流动；等离子体生成部件，其设置于所述导管引起等离子体放电以分解所述废气；壳体，其环绕所述导管，且与所述导管的外周面之间形成有间隔空间；感测部件，其感测所述导管或所述间隔空间的环境条件；以及控制部，其根据从所述感测部件接收的所述环境条件的信息判断所述导管或所述间隔空间的状态。 | ||
| 申请公布号 | CN106170845A | 申请公布日期 | 2016.11.30 |
| 申请号 | CN201480077937.7 | 申请日期 | 2014.10.27 |
| 申请人 | 清洁要素技术有限公司 | 发明人 | 高京吾;姜景斗;卢明根 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 杨文娟;臧建明 |
| 主权项 | 一种等离子体反应器，其设置于制程腔室与真空泵之间分解从制程腔室排出的废气，包括：导管，其供所述废气流动；等离子体生成部件，其设置于所述导管引起等离子体放电以分解所述废气；壳体，其环绕所述导管，且与所述导管的外周面之间形成有间隔空间；感测部件，其感测所述导管或所述间隔空间的环境条件；以及控制部，其根据从所述感测部件接收的所述环境条件的信息判断所述导管或所述间隔空间的状态。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道华城市 | ||