传样装置及具有该装置的超高真空测量系统

摘要

本实用新型公开一种传样装置及具有该装置的超高真空测量系统，传样装置包括绝缘座、支架、样品托、送样杆以及磁耦合阀；绝缘座设于靶室内且开设有第一通孔；支架设于绝缘座内且具有向上伸出绝缘座的定位端，支架开设有贯通定位端的第二通孔，第二通孔与第一通孔对齐而形成一导孔；样品托用于可拆卸地放置至少一个样品，样品托上部的材质为顺磁性材料，其内部开设有开口于底面的定位槽；送样杆可升降地穿设于导孔，其顶端可调节地定位于定位槽，而使送样杆升降时带动样品托升降；磁耦合阀设于预抽室的顶盖的上方。本实用新型采用非机械配合的结构实现换样，各个结构的衔接处自然简单，免去了现有机械配合传样的复杂操作。

主权项

一种传样装置(100)，设于超高真空测量系统，所述超高真空测量系统包括靶室(300)以及设于所述靶室(300)上方的预抽室(200)，其特征在于，所述传样装置(100)包括：绝缘座(110)，设于所述靶室(300)内且开设有第一通孔(111)；支架(120)，设于所述绝缘座(110)内且具有向上伸出所述绝缘座(110)的定位端(121)，所述支架(120)开设有贯通所述定位端(121)的第二通孔(122)，所述第二通孔(122)与所述第一通孔(111)对齐而形成一导孔；样品托(130)，用于可拆卸地放置至少一个样品，所述样品托(130)上部的材质为顺磁性材料，其内部开设有开口于底面的定位槽(131)；送样杆(140)，可升降地穿设于所述导孔，其顶端可调节地定位于所述定位槽(131)，而使所述送样杆(140)升降时带动所述样品托(130)升降；以及磁耦合阀(150)，设于所述预抽室(200)的顶盖(210)的上方；其中，所述磁耦合阀(150)开启，且所述送样杆(140)带动所述样品托(130)上升至所述预抽室(200)顶部时，所述样品托(130)磁吸定位于所述预抽室(200)的顶盖(210)的下表面，且对应于所述磁耦合阀(150)的位置；所述送样杆(140)带动所述样品托(130)下降至所述支架(120)时，所述样品托(130)承载于支架(120)的定位端(121)上。