使用激光束焦线对片状衬底进行基于激光的加工的方法和设备

摘要

定义了一种对片状衬底(1)进行基于激光的加工以将衬底(1)分成多个部分的方法，其中用于加工衬底(1)的激光器的激光束(SR)被引导到衬底(1)上，其中利用被定位在激光器的光线路径中的光学装置(10，12)，沿着光束(SR)的方向所见，延伸的激光束焦线(2b，2c)从被引导到光学装置上的激光束中被形成在光学装置(10，12)的光束输出端上，相对于激光束焦线定位衬底(1)以使得沿着在光束(SR)的方向中所见的激光束焦线的延伸部分在衬底(1)的内部中的衬底(1)的材料中产生诱发吸收，从而使得材料改性沿着此延伸部分在衬底(1)的材料中发生。

主权项

一种方法，包括：沿着光束传播方向观察，将脉冲激光束聚焦成激光束焦线，所述激光束焦线具有在0.1mm和100mm之间的范围内的长度；以及以关于材料的表面的入射角将所述激光束焦线引导到所述材料中，所述激光束焦线在所述材料内生成诱发吸收，所述诱发吸收在所述材料内沿着所述激光束焦线产生材料改性。