一种三维形貌比对显微镜

摘要

本实用新型提供一种三维形貌比对显微镜，包括基座、云台、投影机、摄像机、目镜、物镜，基座上设置有可相对基座上下运动的升降体，升降体上设有左右两个双光路物镜，升降体上设置有左右两个摄像机，两个摄像机分别与两个双光路物镜的成像光路对应设置，在升降体上设置有一个投影机，投影机与两个双光路物镜的投影光路均对应，投影机投射光分别通过两个双光路物镜的投影光路，升降体上设置有目镜，目镜与两个双光路物镜的成像光路均对应设置，基座的下部设有两个云台分别位于两个双光路物镜的下方且相对应。制造成本低，左右两组光路能对分别置于两个云台的两个检体进行比对、测量，可同时进行二维图像和三维形貌方面的比对，提高比对的准确率。

主权项

一种三维形貌比对显微镜，其特征在于：包括基座、云台、投影机、摄像机、目镜、物镜，在基座上设置有可相对基座上下运动的升降体，在升降体上设有左右两个双光路物镜，在升降体上设置有左右两个摄像机，两个摄像机分别与两个双光路物镜的成像光路对应设置，在升降体上设置有一个投影机，投影机与两个双光路物镜的投影光路均对应，投影机投射的光分别通过两个双光路物镜的投影光路，在升降体上设置有目镜，目镜与两个双光路物镜的成像光路均对应设置，在基座的下部设有两个云台分别与两个双光路物镜对应且位于双光路物镜的下方。