| 发明名称 |
気孔直径の多峰性分布をもつ研磨パッド |
| 摘要 |
Polishing pads with multi-modal distributions of pore diameters are described. Methods of fabricating polishing pads with multi-modal distributions of pore diameters are also described. |
| 申请公布号 |
JP6033358(B2) |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
| 申请号 |
JP20150088319 |
申请日期 |
2015.04.23 |
| 申请人 |
ネクスプラナー コーポレイション |
发明人 |
ホワン ピン;ダイアン スコット;ジェイムズ ピー． ラカッセ;ウィリアム シー． アリソン |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/24;B24B37/26;C08J9/32 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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