应用于微电子的整平剂、整平剂组合物及其用于金属电沉积的方法

摘要

本公开涉及一种用于电沉积金属的整平剂化合物。所述化合物为式(I)的化合物或其盐：

主权项

式(I)的化合物或其盐：其中R¹为O、S或N；R²选自由未取代的或取代的烷基、未取代的或取代的烷氧基、未取代的或取代的烯基、未取代的或取代的炔基、未取代的或取代的烷基羟基、未取代的或取代的C_3‑12环烷基、未取代的或取代的C_6‑12芳基、未取代的或取代的3‑12元杂环、及未取代的或取代的5‑12元杂芳基组成的组；R³和R⁴独立地选自由氢、未取代的或取代的烷基、未取代的或取代的烷氧基、未取代的或取代的烯基、未取代的或取代的炔基、未取代的或取代的烷基羟基、未取代的或取代的C_3‑12环烷基、未取代的或取代的C_6‑12芳基、未取代的或取代的3‑12元杂环、及未取代的或取代的5‑12元杂芳基组成的组；或者R³和R⁴可以与其所连接的一个或多个原子组合以形成未取代的或取代的C_3‑12环烷基、未取代的或取代的3‑12元杂环、未取代的或取代的C_6‑12芳基、或未取代的或取代的5‑12元杂芳基；Y¹、Y²、Y³、Y⁴、Y⁵、Y⁶、Y⁷和Y⁸独立地选自由氢、卤素、未取代的或取代的烷基、未取代的或取代的烷氧基、未取代的或取代的烯基、未取代的或取代的炔基、未取代的或取代的C_3‑12环烷基、未取代的或取代的C_6‑12芳基、未取代的或取代的3‑12元杂环和未取代的或取代的5‑12元杂芳基组成的组；以及L选自由未取代的或取代的烷基、未取代的或取代的C_6‑12芳基和未取代的或取代的3‑12元杂环基组成的组。