| 摘要 |
본 발명의 제1 양태에 따르면, 기판에 도포된 수지와 몰드를 접촉시켜 기판 상에 패턴을 형성하는 임프린트 장치가 제공되며, 임프린트 장치는 기판에 수지를 도포하도록 구성된 도포부, 및 도포부에 수지를 공급하도록 구성된 수지 공급 유닛을 포함하고, 수지 공급 유닛은 수지를 저장하도록 구성된 수지 저장 탱크, 수지 저장 탱크와 도포부 사이에서 수지를 연속적으로 순환시키도록 구성된 펌프, 및 수지가 순환되는 유로에 배열되며 이물질 또는 금속 이온을 제거하도록 구성된 필터를 포함한다. |
